電子光學(xué)凈化車間的規(guī)劃制作的意圖，是要對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需求進(jìn)行控制。

　　一、分包施工

　　電子光學(xué)半導(dǎo)體等凈化車間廠房內(nèi)施工是歸納性項(xiàng)目，專業(yè)眾多，涉及到制冷、供熱、純水、壓空、真空、空調(diào)、工藝?yán)鋮s水、氮?dú)狻⒀鯕狻⑾馈⒆兣潆姟⒆钥亍⑼ㄓ崱艋b修等，每個專業(yè)都不可或缺，每個專業(yè)又對其他專業(yè)及歸納工程產(chǎn)生影響，切忌各個專業(yè)各自為營，建議一致協(xié)調(diào)，采用EPC總承攬方法進(jìn)行施工。

　　二、凈化空調(diào)設(shè)備

　　凈化車間，尤其是電子光學(xué)凈化車間，換氣次數(shù)：100000級≥15次;10000級≥20次。換氣次數(shù)、新風(fēng)量的高要求，因而新風(fēng)處理所需冷量耗費(fèi)大;送風(fēng)量大，運(yùn)送動力耗費(fèi)大，風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大，耗費(fèi)冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。

　　因而，凈化空調(diào)體系節(jié)能辦法應(yīng)從削減新風(fēng)量(削減排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確認(rèn)換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;挑選低阻力高效率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。挑選合適凈化空調(diào)設(shè)備，成為電子光學(xué)凈化車間規(guī)劃、制作及后期運(yùn)轉(zhuǎn)的關(guān)鍵要素，一定要嚴(yán)厲關(guān)注。

　　三、靜電

　　靜電容易引起電子設(shè)備故障，導(dǎo)致電磁攪擾;促進(jìn)電路和電子元件老化;吸附塵埃，降低成品率。電子光學(xué)凈化車間，從開始規(guī)劃，就需求給靜電安排滿意的重視，這是每一個暖通工程師的基本內(nèi)容。可是，許多工程師只從溫濕度上下手，而疏忽了其他方法的應(yīng)用。

　　一般常見的以為高濕度能夠解決靜電問題，因而不用考慮其它降低靜電產(chǎn)生的方法，事實(shí)上是不正確的。高濕度雖能夠?qū)崈糗囬g產(chǎn)生之靜電降低到人體無法觸摸感應(yīng)到，可是仍足以將靈敏組件毀損。因而，除了給滿意的濕度以外，必須采取適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)辦法，如導(dǎo)電地板、導(dǎo)電蠟等;潔凈車間人員須穿上具靜電散失材質(zhì)鞋底的靜電鞋，穿防靜電服裝。除了這些，還能夠在凈化車間進(jìn)口安裝除靜電裝置，最大程度上削減靜電的損害。

　　四、盲目推高潔凈度

　　凈化車間的造價，受多方面要素影響，如品牌定位、職業(yè)、凈化等級、空調(diào)及末端體系、地面資料、隔間資料、天花板資料、照度等。以電子光學(xué)凈化車間為例，凈化等級越高，其他相應(yīng)的定位也會隨之提高。

　　電子光學(xué)凈化車間的規(guī)劃制作，不是一了百了，而是長期的本錢開銷。同理，凈化等級越高，后期的運(yùn)轉(zhuǎn)、保護(hù)本錢也相應(yīng)提高。凈化等級的定位應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備參數(shù)、生產(chǎn)產(chǎn)品所需求的潔凈度來確認(rèn)。

　　明確凈化車間生產(chǎn)設(shè)備的參數(shù)，制定出滿意本身需求的車間面積、層高、溫濕度和潔凈度要求，再找專業(yè)的公司規(guī)劃出一套合理的歸納凈化方案。