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附錄F 潔凈室生物學評價方法
F.1回、排風高效過濾風口微生物透過率F.1.1儀器設備和材料應符合以下要求：1儀器設備：Φ90玻璃平皿(或塑......
附錄G 潔凈室氣密性檢測方法
附錄G潔凈室氣密性檢測方法G.1原理G.1.1保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜......
附錄H 分子態污染物的檢測
附錄H分子態污染物的檢測H.1分子態污染物(AMC)H.1.1分子態污染物主要包括以下四種：1酸性氣體(表示為......
本標準用詞說明
本標準用詞說明1為便于在執行本標準條文時區別對待，對于要求嚴格程度不同的用詞說明如下：1)表示很嚴格，非這樣做......
引用標準名錄
引用標準名錄1《建筑工程施工質量驗收統一標準》GB503002《砌體工程施工質量驗收規范》GB502033《漆......
前言
中華人民共和國國家標準電子工業潔凈廠房設計規范Codefordesignofelectronicindustr......
1、總則
1總則1.0.1為在電子工業潔凈廠房設計中，做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源、降低能耗、確保質量，并......
2、術語
2術語2.0.1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒......
3、電子產品生產環境設計要求
3電子產品生產環境設計要求3.1一般規定3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和......
4、總體設計
4總體設計4.1位置選擇和總平面布置4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：1應布置......
5、工藝設計
5工藝設計5.1一般規定5.1.1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預......
5、工藝設計
5工藝設計5．1一般規定5．1．1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預......
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